Published May 20, 2022 | Version v1
Journal article Open

ПРИМЕНЕНИЕ КВАНТОВО-РАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР В ПРИБОРАХ МИКРО - И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

Description

Последние три десятилетия развития физики твердого тела характеризуются тем, что основными объектами исследования все в большей степени становятся не массивные кристаллы, а тонкие пленки, многослойные тонкопленочные системы, проводящие нити и кристаллиты малого размера. То обстоятельство, что квантово-размерные структуры находятся в центре внимания именно сейчас, вызвано интенсивным развитием в последние годы технологии изготовления полупроводниковых структур – молекулярно-лучевой эпитаксии (представляет собой усовершенствованную разновидность методики термического напыления в условиях сверхвысокого вакуума), нанолитографии, открытием явления самоорганизации наноструктур (методы получения с использованием эффектов спонтанного образования наноструктур).

Files

230-236.pdf

Files (777.8 kB)

Name Size Download all
md5:c589b807772940be3a361e90f1ca190e
777.8 kB Preview Download