ПРИМЕНЕНИЕ КВАНТОВО-РАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР В ПРИБОРАХ МИКРО - И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Description
Последние три десятилетия развития физики твердого тела характеризуются тем, что основными объектами исследования все в большей степени становятся не массивные кристаллы, а тонкие пленки, многослойные тонкопленочные системы, проводящие нити и кристаллиты малого размера. То обстоятельство, что квантово-размерные структуры находятся в центре внимания именно сейчас, вызвано интенсивным развитием в последние годы технологии изготовления полупроводниковых структур – молекулярно-лучевой эпитаксии (представляет собой усовершенствованную разновидность методики термического напыления в условиях сверхвысокого вакуума), нанолитографии, открытием явления самоорганизации наноструктур (методы получения с использованием эффектов спонтанного образования наноструктур).
Files
230-236.pdf
Files
(777.8 kB)
Name | Size | Download all |
---|---|---|
md5:c589b807772940be3a361e90f1ca190e
|
777.8 kB | Preview Download |